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機(jī)器視覺在半導(dǎo)體行業(yè)中的外觀檢測優(yōu)勢

機(jī)器視覺檢測系統(tǒng)正廣泛地應(yīng)用于各個領(lǐng)域,從醫(yī)學(xué)界圖像到遙感圖像,從工業(yè)生產(chǎn)檢測到文件處理,從毫微米技術(shù)到多媒體數(shù)據(jù)庫等,需要人類視覺的場合幾乎都需要機(jī)器視覺檢測系統(tǒng),特別在某些要求高或人類視覺無法感知的領(lǐng)域,如精確定量感知、危險現(xiàn)場感知、不可見物體感知等,機(jī)器視覺檢測系統(tǒng)的作用就顯得尤為重要了。

機(jī)器視覺檢測系統(tǒng)的一個主要、典型的應(yīng)用就是對半導(dǎo)體芯片的外觀檢測。

微電子技術(shù)的飛躍發(fā)展,使得各種半導(dǎo)體芯片的集成度越來越高,同時芯片的體積趨向于小型化及微型化,這些都對芯片的檢測提出了較高的要求。而現(xiàn)場的大批量生產(chǎn)更使得傳統(tǒng)的人工肉眼檢測難以滿足實(shí)際需求。

機(jī)器視覺檢測所具有的非接觸性、連續(xù)性、經(jīng)濟(jì)性、靈活性等優(yōu)點(diǎn),使人們有了更好的選擇,人工檢測正逐漸被機(jī)器視覺檢測所替代將機(jī)器視覺檢測系統(tǒng)應(yīng)用于半導(dǎo)體檢測,主要是通過對實(shí)時抓取的圖像采用模式匹配進(jìn)行定位,分析處理圖像并得到圖像的各項(xiàng)參數(shù),與預(yù)先設(shè)置好的檢測標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行比較計算進(jìn)而判斷圖像合格與否。

與人工檢測相比,機(jī)器視覺檢測系統(tǒng)應(yīng)用于半導(dǎo)體外觀檢測具有以下一些優(yōu)點(diǎn):

1.非接觸性

作為一個精確的檢測設(shè)備,機(jī)器視覺檢測通過分析處理被檢對象圖像對此對象進(jìn)行測量。測量過程中并不需要接觸,所以對被測對象沒有磨損和危險,實(shí)現(xiàn)了無損檢測。

2.連續(xù)性

機(jī)器視覺檢測系統(tǒng)的優(yōu)勢是顯而易見的,因?yàn)槿擞星榫w,會勞,把人用作機(jī)器是不可靠的與人眼相比,機(jī)器不僅不會疲勞,而且具有人所不具有的一致性和重復(fù)性,能長時間不間斷運(yùn)作。此外,由于沒有人工操作者,也就沒有了人為造成的操作變化,多個系統(tǒng)能設(shè)定單獨(dú)運(yùn)行。

3. 精確性

近年來,由于芯片封裝的小型化,生產(chǎn)的復(fù)雜程度增加,生產(chǎn)率卻不斷增強(qiáng),加上各種新型元器件的廣泛使用,使得在半導(dǎo)體芯片的封裝和裝配流水線,僅僅使用人眼進(jìn)行檢測操作已經(jīng)不能保證生產(chǎn)線的質(zhì)量和效率。檢測的速度和精確度在很長時間內(nèi),是制約芯片產(chǎn)能和質(zhì)量進(jìn)一步提高的瓶頸。如何具有與封裝生產(chǎn)相匹配的速度,實(shí)現(xiàn)100%的在線檢測,一直是半導(dǎo)體制造商最為關(guān)注的問題。而檢測速度和精確性正是機(jī)器視覺檢測具備的一個明顯優(yōu)勢,日新月異的機(jī)器視覺檢測系統(tǒng),正在代替人進(jìn)行全自動的產(chǎn)品檢測。

4.經(jīng)濟(jì)性

隨著視覺檢測技術(shù)的逐步成熟與處理硬件設(shè)備價格的降低,機(jī)器視覺檢測的經(jīng)濟(jì)性逐漸顯現(xiàn)出來。一套機(jī)器視覺檢測系統(tǒng)能代替多個人工檢測者。另外機(jī)器視覺檢測普遍的操作和維持費(fèi)用都比較低。

5.可擴(kuò)展性

機(jī)器視覺系統(tǒng)能夠進(jìn)行各種不同的測量。機(jī)器視覺系統(tǒng)比光學(xué)和機(jī)器傳感器具有更好的適應(yīng)性,多樣性,靈活性和可重組性。當(dāng)需要改變檢測過程時,對機(jī)器視覺系統(tǒng)來說“工具更換”僅僅是更新軟件,而非升級昂貴的硬件。當(dāng)生產(chǎn)線重組之后,機(jī)器視覺系統(tǒng)往往可以被保留下來而繼續(xù)使用。