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晶圓視覺檢測(cè)，晶圓外觀缺陷檢測(cè)方案

發(fā)布日期：2021-05-17

下面給大家介紹一例晶圓視覺檢測(cè)的方案，檢測(cè)內(nèi)容主要為破損，裂粒，氣孔，鎳層不良及尺寸。 一：檢測(cè)內(nèi)容及要求 檢測(cè)工件面積： 長(zhǎng)1.44mm*寬1.43mm*高1.65mm的樣件的外觀、尺寸檢測(cè) 檢測(cè)內(nèi)容：破損，裂粒，氣孔，鎳層不良 1:底部正光檢...